行程(mm)

500x400x200

外形尺寸(mm)

850x1300x1550

金属台面尺寸（mm）

716X690

工作台玻璃尺寸（mm）

565X465

重量(kg)

250

承重(kg)

20

X 、Y轴测量精度(μm)

2.5+L/200

Z轴测量精度(μm)

3.0+L/100

X、Y轴运动速度

0-200mm/S（任意选择）

Z轴运动速度

0-100m/S(任意选择)

重复精度（mm）

 0.002

操作方式

 软件+摇杆

光栅尺

0.0005mm玻璃光栅

X、Y轴导轨

 台湾“HIWIN”精密级线性导轨

Z轴导轨

 台湾“HIWIN”精密级线性导轨

Z轴丝杆

台湾“TBI”滚珠丝杆

轴承

日本原装“NSK” 双例组合向心球轴承

电机

日本“尼得科”交流同步伺服电机，定位精度≤0.001mm

摄像机

                                       130万像素彩色高清数字相机（千兆网）

光源

轮廓光

 LED冷光源，球顶透射光实现平行光照射

表面光

四环八区LED冷光源，各区独立操控，256级亮度程控可调

光学镜头

0.7-4.5X手动变倍卡位镜头，1:6.5变倍比

放大倍率

光学放大倍率：0.7～4.5×；影像放大倍率：24～158X

软件

SBK-CNC专用全自动测量软件

电脑

工控专用电脑

电源

220V/50Hz/3A

工作环境

温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%

影像仪专用桌

内置开关电源、控制器、电机驱动器、电源控制开关、指示灯、急停开关、移动滚轮