行程(mm)

500×400×200

玻璃台面尺寸(mm)

500X650

重量(kg)

1450

承重(kg)

20

XY轴测量精度(μm)

3+L/200

Z轴测量精度(μm)

5.0+L/200

重复精度（μm）

0.003

X、Y轴运动速度

0-500mm/S（任意选择）

Z轴运动速度

0-100m/S(任意选择)

操作方式

摇杆+软件

导轨

台湾“上银”精密级（行走平行度精度≤0.002mm）直线导轨

丝杆

台湾“TBI”研磨滚珠丝杆

电机

日本“松下”交流同步伺服电机，定位精度≤0.002mm

摄像机

130W像素彩色数字摄影机（千兆网）

表面光源

4环8分区LED冷光源，软件操控，减少电气元件损坏。

轮廓光源

   LED条形冷光源 

光学镜头

自动变倍带导航镜头，1:6.5变倍比

放大倍率

光学放大倍率：0.7～4.5×；影像放大倍率：24～158X

软件

SBK-CNC专用全自动测量软件

电脑

工控专用电脑

电源

220V/50Hz/3A

工作环境

温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%

影像仪专用桌

内置开关电源、控制器、电机驱动器、电源控制开关、指示灯、急停开关、移动滚轮